Nurşen AKBAŞİ. Etem SAKLAKOĞLU2024-07-242024-07-2420011300-3402http://akademikarsiv.cbu.edu.tr:4000/handle/123456789/22387Son 10-20 yıldır iyon implantasyonu ve diğer benzeri teknikler sertlik, aşınma direnci, korozyon direnci vb. gibi malzemelerin yüzey özelliklerinin iyileştirilmesinde önemli bir metod olmaya başlamıştır. Bu gelişim iyon kaynaklarındaki ve diğer iyon ışını ekipmanlarındaki araştırma ve geliştirme çalışmalarının artışıyla birlikte olmuştur. Bu makalede iyon üreteçlerinin fiziksel prensiplerine bir giriş yapılmış ve birkaç farklı tip üreteç hakkında bilgiler gözden geçirilmiştir.turAraştırma Makalesi