Plazma ortamında iyon aşılama yöntemi (PIII-$PI^3$ ), genel prensipleri ve uygulama alanları

İbrahim Etem SAKLAKOĞLUNurşen SAKLAKOĞLU2024-07-242024-07-2420041300-3402http://akademikarsiv.cbu.edu.tr:4000/handle/123456789/25464Plazma Ortamında İyon Aşılama $(Pl^3)$ geleneksel iyon aşılama ile plazma nitrürleme tekniklerinin avantajlarını bir araya toplayan yeni bir teknolojidir. Yüksek enerjili iyon bombardımanın termal difüzyonla desteklenmesi, daha derin modifiye edilmiş tabaka oluşumu sağlamaktadır. Bu makalede, $Pl^3$ yönteminin genel prensipleri, geleneksel iyon aşılama ile plazma nitrürlemeden ayrıldığı noktalar irdelenmiş ve yöntemin uygulama alanları hakkında bilgi verilmiştir.turPlazma ortamında iyon aşılama yöntemi (PIII-$PI^3$ ), genel prensipleri ve uygulama alanlarıAraştırma Makalesi