Plazma ortamında iyon aşılama yöntemi (PIII-$PI^3$ ), genel prensipleri ve uygulama alanları
No Thumbnail Available
Date
2004
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Plazma Ortamında İyon Aşılama $(Pl^3)$ geleneksel iyon aşılama ile plazma nitrürleme tekniklerinin avantajlarını bir araya toplayan yeni bir teknolojidir. Yüksek enerjili iyon bombardımanın termal difüzyonla desteklenmesi, daha derin modifiye edilmiş tabaka oluşumu sağlamaktadır. Bu makalede, $Pl^3$ yönteminin genel prensipleri, geleneksel iyon aşılama ile plazma nitrürlemeden ayrıldığı noktalar irdelenmiş ve yöntemin uygulama alanları hakkında bilgi verilmiştir.