Plazma ortamında iyon aşılama yöntemi (PIII-$PI^3$ ), genel prensipleri ve uygulama alanları
| dc.contributor.author | İbrahim Etem SAKLAKOĞLU | |
| dc.contributor.author | Nurşen SAKLAKOĞLU | |
| dc.date.accessioned | 2024-07-24T09:13:39Z | |
| dc.date.available | 2024-07-24T09:13:39Z | |
| dc.date.issued | 2004 | |
| dc.description.abstract | Plazma Ortamında İyon Aşılama $(Pl^3)$ geleneksel iyon aşılama ile plazma nitrürleme tekniklerinin avantajlarını bir araya toplayan yeni bir teknolojidir. Yüksek enerjili iyon bombardımanın termal difüzyonla desteklenmesi, daha derin modifiye edilmiş tabaka oluşumu sağlamaktadır. Bu makalede, $Pl^3$ yönteminin genel prensipleri, geleneksel iyon aşılama ile plazma nitrürlemeden ayrıldığı noktalar irdelenmiş ve yöntemin uygulama alanları hakkında bilgi verilmiştir. | |
| dc.identifier.issn | 1300-3402 | |
| dc.identifier.uri | http://akademikarsiv.cbu.edu.tr:4000/handle/123456789/25464 | |
| dc.language.iso | tur | |
| dc.title | Plazma ortamında iyon aşılama yöntemi (PIII-$PI^3$ ), genel prensipleri ve uygulama alanları | |
| dc.type | Araştırma Makalesi |